燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。

真空燒結(jié)爐的主要原理

真空燒結(jié)爐是在真空環(huán)境中對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，其加熱方式比較多，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。燒結(jié)爐磁飽和鐵芯反應(yīng)器控制另一種方法，很準(zhǔn)確地保持溫度恒定，稱為磁飽和鐵芯反應(yīng)器控制。真空感應(yīng)爐是利用感應(yīng)加熱對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，可以歸屬于真空燒結(jié)爐的子類。 真空感應(yīng)燒結(jié)爐是在真空或保護(hù)氣氛條件下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實(shí)現(xiàn)燒結(jié)的成套設(shè)備，是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的。

檢測(cè)燒結(jié)爐的爐襯厚度有以下幾種檢測(cè)方法

應(yīng)力波法：應(yīng)力波動(dòng)信號(hào)對(duì)結(jié)構(gòu)缺陷有很高的敏感性，當(dāng)應(yīng)力波在介質(zhì)傳播時(shí)，如遇到孔洞、裂紋等界面不連續(xù)處，就會(huì)發(fā)生反射、折射、散射和模式轉(zhuǎn)換，利用應(yīng)力波的特性可以確定冷卻壁材料的厚度。其主要組成為：電爐本體、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、進(jìn)出料機(jī)構(gòu)、底座、工作臺(tái)、感應(yīng)加熱裝置(鎢加熱體及保溫材料)、進(jìn)電裝置、中頻電源及電氣控制系統(tǒng)等。電容法：電容法與電阻法類似，在爐襯內(nèi)部埋設(shè)同軸圓形電容器傳感器，電容值與其長(zhǎng)度成對(duì)應(yīng)關(guān)系，可以通過測(cè)量電容值來確定高爐砌體的厚度。通過這些方法，對(duì)爐襯的一些基本數(shù)據(jù)和性能有了初步的判斷和堅(jiān)定，對(duì)電爐的大體的工作狀況有些概括的了解。

燒結(jié)爐的運(yùn)行過程

(1)粉末壓坯具有較大的自由表面，燒結(jié)過程一般需要保護(hù)氣氛，并且對(duì)各種燒結(jié)氣氛的反應(yīng)很敏感； (2)金屬粉末表面一般存在著氧化膜，影響金屬之間接觸，阻礙燒結(jié)進(jìn)行，需在燒結(jié)過程中使金屬氧化物得到還原； (3)壓坯在成形過程產(chǎn)生的應(yīng)力應(yīng)予以消除； (4)壓坯中含有一定數(shù)量的揮發(fā)性添加劑，需在燒結(jié)前的升溫加熱階段予以燒除；

燒結(jié)爐爐底燒結(jié)層

在這種變化的條件下，燒結(jié)爐底能夠而且應(yīng)該在相當(dāng)高的溫度和改變燒結(jié)材料數(shù)量及質(zhì)量組成的情況下進(jìn)行，以保證制作更堅(jiān)固和壽命更高的爐底燒結(jié)層。 在許多工廠已經(jīng)成功地應(yīng)用了采用氧化鐵皮燒結(jié)爐底的方法。先進(jìn)的燒結(jié)爐底方法推廣較慢的原因是-缺乏被公認(rèn)的燒結(jié)層形成過程的理論，結(jié)果產(chǎn)生了各種不同的燒結(jié)方法，對(duì)材料的選擇和數(shù)量配比問題以及合理的溫度制度的確定沒有提出明晰的敘述。